Material
Little Things Factory produziert Fluidikkomponenten aus anodisch bondbarem Borosilikatglas, alkalifreiem Glas, Quarzglas und Glas-Si-Kombinationen.*
Borosilikatglas
| Typ | Borofloat 33 ® |
| Dickenbereich | 100 - 3000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si) |
| Brechungsindex (nD) | 1,4713 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6 Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4 |
| Haupteigenschaften |
Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si, anodisch bondbar |
Fused quartz
| Dickenbereich | 300 - 2000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 0,5 x 10-6 K-1 |
| Brechungsindex (nD) | 1,4586 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,75 Verlustfaktor (20°C; 1 MHz): 4x10-4 |
| Haupteigenschaften |
hohe Temperaturbeständigkeit durch niedrigen Anteil an Hydroxid-Gruppen (OH)
UV-durchlässig ab ca. 270 nm |
Fused Silica
| Dickenbereich | 300 - 2000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 0,5 x 10-6 K-1 |
| Brechungsindex (nD) | 1,4584 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,8 Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 4x10-4 |
| Haupteigenschaften | hochgradig UV-durchlässig ab ca. 200 nm |
Silizium
Little Things Factory verwendet für die Herstellung von Fluidikkomponenten sämtliche am Markt verfügbare, monokristalline Standard-Silizium-Wafer, deren Spezifikationen in Abhängigkeit vom Kundenwunsch passend gewählt werden.
Für Fluidikkomponenten werden typischerweise p-Bor-dotierte <100> Wafer verwendet.
Weitere Materialien
Little Things Factory fertigt nach Kundenanforderung Fluidikkomponenten aus allen verfügbaren Gläsern namhafter Hersteller.
* Alle technischen Daten gem. Angaben der Hersteller der Rohmaterialien - ohne Gewähr - Änderungen vorbehalten